IFM IDE3060-FPKG/US
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超聲波傳感器的基礎是一種具有高度一致性的微機電超聲器件,因此,它具有相似的頻率響應特性。
為了制造成像儀,研究小組應用了現有的微機電系統(MEMS)技術(智能手機的麥克風和定向功能也依靠這種技術)。他們使用了一種改進的制造工藝,用來制造iPhone和其他消費類電子產品中都具有的微機電加速計和陀螺儀。
Horsley表示:我們的芯片由兩層晶片組成,一個是微機電晶片,包含超聲波換能器;另一個是CMOS晶片(CMOS,互補金屬氧化物半導體,是一種基于硅的技術,用于在微芯片制造晶體管。),包含信號處理電路。這些晶片結構結合在一起,然后微機電晶片經過減肥后來顯示超聲波換能器。
中海德:葉工
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